型號(hào)：Q150R
生產(chǎn)廠家：英國(guó)QUORUM

主要特點(diǎn)：
一款多功能緊湊型機(jī)械泵抽真空鍍膜系統(tǒng)，對(duì)于SEM樣品制備及其它鍍膜應(yīng)用非常理想。直徑為165mm/6.5”的腔室可容納多種需要鍍導(dǎo)電膜的樣品 – 尤其用于在SEM應(yīng)用中提高成像質(zhì)量。
采用全自動(dòng)控制的新型系統(tǒng)能夠在一次真空條件下順序?yàn)R鍍多達(dá)三層不同的金屬膜，靶材可選菜單有15種預(yù)設(shè)工作程序的材料，還能自動(dòng)探測(cè)放入的晶圓尺寸如100，150，200或300mm。具有渦輪泵的高真空鍍膜儀使用標(biāo)準(zhǔn)濺射靶材，在系統(tǒng)中允許使用多種靶材，如易氧化金屬和貴金屬。